<百级洁净烤箱>;晶圆封装pi/bcb胶固化洁净烤箱pi/bcb胶常用于粘贴晶圆基板或柔性电路板在治具上,从而进行印刷、贴片、测试等一系列工序,它的固化工艺需要在无尘无氧的环境下进行,并通入氮气保护,使用百级洁净烘箱的多段温度控制仪表分段设定温度,首先使胶在基板---布均匀,然后充分的挥发,后在半导体芯片表面形成低介电常数的pi/bcb胶薄膜,从而完成固化工艺。
品牌洁净烘箱(无尘烘箱)sk系列采用---的内外舱一体结构,结合内循环风道设计,热风循环烘箱厂家,通过耐高温超过滤器h.e.p.a不断对内部进行自净化过滤,热风循环烘箱生产厂家,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的洁净无尘高温烘烤环境。产品具有内部洁净,自身不产尘,控温---,温场分布均匀等众多优点,广泛应用于精密电子制造,半导体晶圆制造,---集成电路,生物制造、洁净实验室、航天航空等众多工业领域。
本发明属于半导体芯片制造技术领域,恒温烘箱厂家,具体涉及一种光敏树脂bcb的固化方法,包括如下步骤:1)在外延片表面上涂覆光敏bcb胶,采用光刻的方法在外延片表面形成光敏bcb胶图形;2)采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏bcb胶;3)将刻蚀后的外延片放入退火炉中,通入h2和ar的混合气体保护,烘箱厂家,采用多级升温保温的方式从50℃升至275℃,并在275℃保温2h;4)随后增大通入的h2和ar的混合气体的流量,迅速将退火炉的温度降至室温,停止通入h2和ar的混合气体,完成固化。本发明提供的光敏树脂bcb的固化方法采用多级升温保温的方式,使bcb聚合反应充分;并在退火时采用h2和ar的混合气体取代传统n2作为保护气体,降低了氧化老化的可能性,提高bcb。
型号:hj-rf307
内胆尺寸(mm):高3000mm*宽1800mm*深1600mm
加热功率:260kw
温度参数:
温度范围:rt(室温)-300℃(任意调节设定)
温度均匀性:±3℃(恒温状态测试)
升温速度:室温到100℃小于10分钟
结构与材料:
外壳材料:冷轧板,表面磷化处理,并喷银灰色锤纹漆(颜色可选)
内胆材料:不锈钢拉丝板
隔 层:六层格挡配六层承重型不锈钢方管网架,每层承重80kg
保温材料:厚度90毫米硅酸铝保温棉,保温隔热性能---
门结构:
数 量:双开门
厚 度:90毫米硅酸铝保温棉(高温棉),局部加强安装铰链和拉手
门 扣:迫紧式摇杆拉手,美观,硅酸铝纤维密封棉条,密封性好,---
热风循环烘箱生产厂家-恒黔科技-烘箱厂家由上海恒黔电子科技有限公司提供。上海恒黔电子科技有限公司是一家从事“高温电烘箱,工业烘箱,真空烘箱,高温炉,氮气烘箱等”的公司。自成立以来,我们坚持以“诚信为本,---经营”的方针,勇于参与市场的良性竞争,使“恒黔”品牌拥有------。我们坚持“服务为先,用户”的原则,使恒黔科技在电热设备中赢得了众的客户的---,树立了---的企业形象。 ---说明:本信息的图片和资料仅供参考,欢迎联系我们索取准确的资料,谢谢!
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息,谢谢!
本文链接:https://tztz269582.zhaoshang100.com/zhaoshang/215611755.html
关键词: